X射線(xiàn)熒光光譜儀目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無(wú)機(jī)分析領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是各種無(wú)機(jī)材料中主組分分析重要的技術(shù)手段之一，各種與X射線(xiàn)熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。
X射線(xiàn)熒光光譜儀工作原理是X射線(xiàn)光管發(fā)出的初級(jí)X射線(xiàn)照射樣品，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā)，當(dāng)外層電子躍遷時(shí)產(chǎn)生特征X射線(xiàn)，通過(guò)分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線(xiàn)波長(zhǎng)（或能量）和強(qiáng)度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達(dá)到定性定量分析的目的。
X射線(xiàn)是一種波長(zhǎng)較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線(xiàn)與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
根據(jù)X射線(xiàn)熒光的產(chǎn)生原理，X射線(xiàn)熒光光譜儀在結(jié)構(gòu)上主要由激發(fā)源、色散系統(tǒng)、探測(cè)系統(tǒng)等3部分組成。按照色散方式的不同，X射線(xiàn)熒光光譜儀可以分為2類(lèi)：波長(zhǎng)色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀（EDXRF）。下面來(lái)看看儀器結(jié)構(gòu)以及各結(jié)構(gòu)作用。
X射線(xiàn)熒光光譜儀結(jié)構(gòu)和作用：
1、X射線(xiàn)光管發(fā)射的原級(jí)X射線(xiàn)入射至樣品，激發(fā)樣品中各元素的特征譜線(xiàn)
2、分光晶體將不同波長(zhǎng)λ的X射線(xiàn)分開(kāi)
3、探測(cè)器記錄經(jīng)分光的特定波長(zhǎng)的X射線(xiàn)光子N
4、根據(jù)特定波長(zhǎng)X射線(xiàn)光子N的強(qiáng)度，計(jì)算出與該波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的元素的濃度
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